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장비 및 시설 기본정보
전자빔소스 및 전원공급장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Telemark |
| 모델명 | electron beam source |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-02-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D400 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 반도체나 디스플레이 산업이 발달함으로서 기판 위에 금속이나 금속산화물을 증착시키는 작업이 자주 중요한 역할을 하고 있습니다. 위의 물품은 전자빔을 이용하여 금속을 증착시킬 수 있는 전자 빔 소스와 전원공급기입니다. 전자빔증착은 박막을 증착시키거나, 소자특성을 측정할 수 있게 하는 전극을 증착시킬 때 필수적으로 사용되는 시스템입니다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161026102629_20141015000000181516 NFEC-2014-10-192230.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 GIST대학 C동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-10-192230 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0045507 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |