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장비 및 시설 기본정보
EB-PVD 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아텍시스템 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-04-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 전자빔 소스를 활용하여 산화물을 증발 시킨 뒤 시편에 코팅하는 장비로 고속증착이 용이하고 수십 um의 두께로 코팅 가능한 것으로 주로 열차폐 코팅(THERMAL BARRIER COATING : TBC)에 사용하는 장비임. 1999년 KIST에서 우크라이나로부터 도입된 400kW급 EB-PVD 장비로 사용 13년이 경과된 장비로 이설 및 보수 개조를 함 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201312/20131218132818784.JPG |
| 장비위치주소 | 재료연구소 연구6동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-12-184404 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0041143 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |