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장비

주사전자현미경

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보유기관명	한국과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	활용분야 전자선을 표본의 표면에 주사하여 표면에서 발생된 이차전자를 검파기로 수집하여 수 nm의 분해능으로 입체 표면을 관찰할 수 있는 장비 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)은 전자선을 고체 시료의 표면에 주사하여 표면에서 발생된 이차전자를 검파기로 수집하여 수 nm의 분해능으로 입체 표면을 관찰할 수 있는 장비이다. 본 JSM 6390 모델은 LV 기능을 적용하여 non conductive 시료도 별도의 coating 없이 저배율로 표면의 입체적 관찰이 가능하다. 그 외에도 본 장비는 eucentric stage를 장착하여 초점거리의 이동 없이도 표본의 tilting 측정이 가능하고 airlock chamber의 기능으로 인하여 표본의 loading부터 관찰까지 비교적 단시간 내에 측정이 가능하다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110921102902.jpg
장비위치주소	대전시 유성구 구성동 373-1번지 한국과학기술원 정문술빌딩B102호
NFEC 등록번호	NFEC-2008-06-059566
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009100
첨부파일