- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
터보펌프 소형 진공 증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Quorum Technologies |
| 모델명 | E6700 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-01-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 특징 비전도성 투과전자현미경 박막시료의 관찰을 위한 표면 전도 코팅 장비 탄소 지지막 제작으로 분말시료용 그리드 제작. 탄소 코팅용 장비로 고온 고진공에서 탄소를 휘발시킬 수 있는 장비로 탄소 증착과 동시에 2종의 금속을 휘발 증착시킬 수 있는 장비이다. 주사전자 현미경 표면관찰에 필요한 요철 콘트라스트 확대 증착장비이고 진공 하에서 저항가열로서 고융점 세라믹 또는 금속을 휘발시킴. 휘발된 코팅재료를 시료 표면에 원하는 두께로 박막을 증착시켜줌. 타 증착방법에 비해 증착속도가 빠르고 비정질 코팅막을 얻들 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201108/20110830150411.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 L5 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-01-055556 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0013675 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |