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장비
장비 및 시설 기본정보
스핀 코터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Suss Microtec |
| 모델명 | Delta 80 T |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-03-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C209 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 물질의 균일한 코팅막 형성을 위한 범용 장비 - Wafer size up to 8 inch - Substrates up to 6"×6" - spin speed from 1 up to 10,000rpm |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201505/20150506133359936.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 솔라시티센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-05-201978 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00794 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |