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원자층 증착 시스템

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명	ZEUS
장비번호
제작사	(주)씨엔원
모델명	ATOMIC CLASSIC ALD LOADLOCK MODULE
장비사양
취득일자	2013-03-22
취득금액

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국과학기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C509
표준분류명	생산
시설장비 설명	단원자층 증착 장치는 원자층 단위의 제어가 가능한 박막 성장 장치로서, 다성분계 산화물의 계면 제어 및 조성 제어가 용이함. 또한 3차원 입체 구조에서도 균일한 박막 성장이 가능함
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160922102251_20130416000000161681 NFEC-2013-04-177732.jpg
장비위치주소	한국과학기술연구원 청정연구동(L6)
NFEC 등록번호	NFEC-2013-04-177732
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054799
첨부파일