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장비
장비 및 시설 기본정보
RTA 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크㈜ |
| 모델명 | KVR-4000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-08-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C601 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 특징 짧은 시간에 고온으로 온도를 올렸다 내릴 수 있게 하는 장치로 통상 반도체와 금속막사이의 저항을 줄이기 위한 Anealing 공정에 활용 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201110/20111027143837.JPG |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 정보통신 A동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-10-085707 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0018391 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |