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장비 및 시설 기본정보

나노시스템 비접촉 미세형상 측정기

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 나노시스템
모델명 View-E100
장비사양
취득일자 2007-08-24
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 한국기계연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 F201
표준분류명 시험
시설장비 설명 특징 광위상 간섭법을 사용하여 고 분해능 비접촉 형상 측정이 가능하다 -광위상간섭 기본 원리 광위상란방법과 백색광 주사간섭법은 서로 다른 측정 원리를 가지지만 다중 파장과 단색 파장을 이용하는 점을 제외하고는 동일한 광학 및 측정 시스템에서 구현할 수 있으므로 상용화된 측정 시스템에서는 이 두 측정법을 같이 이용할 수 있다. 이 두 측정법의 공통적인 특징은 간섭 신호를 이용하는 점이다. 간섭 신호란 임의의 기준점에서 동시에 출반한 광이 각기 다른 광 경로(optical path)를 이동한 후 합쳐질 때 두 광이 지난 거리차(optical path difference)에 따른 물리적 현상이 빛의 밝고 어두운 형태로 표현되는데 이를 간섭 신호라 한다. 이중 한 개의 광을 기준광이라고 하며 이 광은 고품위로 가공된 기준면(reference plane)에 입사 되고 다른 광은 측정광이라고 하며 측정하고자 하는 면에 조사 시킨다. 기준면은 완벽한 평면으로 정의할 수 있으므로 백색광 및 광 위상 간섭계의 카메라를 통하여 획득되는 영상의 간섭 신호는 이 기준면에 대한 상대적인 높이 정보를 포함하고 있게 된다. 이러한 개념에서 보면 간섭 신호란 등고선과 동일한 의미를 지닌다. 지도에서 등고선이란 같은 높이를 가진 지형을 이어주는 선이므로 측정면의 간섭 신호도 기준 평면에 대하여 동일한 높이를 가진 지점을 이어준 물리적 현상이다.H6851
장비이미지코드 http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161017141718_20071220000000003087 NFEC-2007-12-051336.jpg
장비위치주소 한국기계연구원 메카트로닉스연구동
NFEC 등록번호 NFEC-2007-12-051336
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0007956
첨부파일

추가정보

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과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)