- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
3차원 미세 위치 정밀 제어기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Physik Instrumente (PI) |
| 모델명 | PI nano |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-06-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C311 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 특징 3차원 나노 위치 제어 시스템. 구성및성능 나노 미터 단위의 3차원 위치 제어(나노미터 분해능의 위치 제어 및 정렬) 3 출 위치 제어 Closed-loop travel length : 200 μm(X축) 200 μm(Y축) 20 μm(Z축;수직 축) 이상 Closed/open-loop resolution : 2 nm 이하 (X Y축) 0.1 nm 이하(Z축) Close-loop travel : 300 × 300×300 um open-loop ** resolution : 1nm Dynamic operating current coefficient(DOCC) : 3.1 3.1 6.2 uA Unloaded resonant frequency (f0) : 120 120 240 kHz |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110117112616.JPG |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 고등광기술연구소 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-053325 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0008168 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |