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장비 및 시설 기본정보
폴리실리콘화학기상증착장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 리드엔지니어링 |
| 모델명 | Vulcan-V81RL |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-01-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C508 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | * 폴리실리콘화학기상증착장비 장비설명 - 미세소자제작에 필요한 폴리실리콘 박막을 증착시키는 공용장비로서 소자제작, MEMS를 이용한 바이오칩 제작, 고급실습 교육기자재로 활용됨. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160919181912_20150217000000185525 NFEC-2015-02-198189.jpg |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-02-198189 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0049700 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |