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장비
장비 및 시설 기본정보
이종원소 도핑 탄소물질의 성장연구 전용장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 싸이엔텍 |
| 모델명 | TCVD50 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-07-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 기초과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 화학기상증착법을 사용하여 박막을 제조하는 장비로써, 다양한 여러 화학물질을 가스 형태로 고온에서 증착하여 다양하고 고품질인 박막을 기판 표면에 성장시키는데 사용되는 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201701/2017010416130531.png |
| 장비위치주소 | 101동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-01-235564 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712202263 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |