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장비
장비 및 시설 기본정보
초고분해능 집속이온빔 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | FEI |
| 모델명 | Helios G4 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2017-07-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A200 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | ❍ TEM 및 3D-APT 시료제작 ❍ 단층분석을 통한 소자 불량 분석 ❍ 유기/무기 재료 및 박막의 미세 구조, 물리적 특성 분석 ❍ 미세영역에 대한 고배율 image를 통한 결함 분석 ❍ FIB 및 Gas Injection System을 이용한 소자나 회로의 수정 ❍ Nano structure and pattern manipulation ❍ 3D fabrication & 3D Analysis(Tomography) |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201710/20171010133959734.jpg |
| 장비위치주소 | 중앙분석센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-10-240188 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712181050 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |