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장비
장비 및 시설 기본정보
금속박막증착장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Temescal |
| 모델명 | FC-2000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-10-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | -e-beam evaporator는 e-beam source인 hot filament 에 전류를 공급하여 발생하는 전자 beam을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여 증착재료에 위치시키면 집중적인 전자의 충돌로 증착 재료가 가열되어 증발하는데 이때 윗부분에 위치한 기판에 박막이 형성되는 원리를 이용하는 것임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927132622.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-09-171185 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035127 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |