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장비
장비 및 시설 기본정보
비접촉 미세형상 측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 나노시스템 |
| 모델명 | NV-2700 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-10-14 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A201 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | - 백색광주사간섭계(WSI) 원리로 표면의 형상을 측정할 수 있는 장비로서 포토 및 식각 전후 패턴의 높이, 거칠기 및 조도 등을 측정할수 있음 - 패턴형성 후 패턴의 높이, 표면의 거칠기 그리고 조도 등을 비파괴 형식으로 측정할 수 있는 범용성 및 활용성이 높은 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201702/20170228161322345.png |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-02-236409 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712191576 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |