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장비
장비 및 시설 기본정보
기판접합용 정렬기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Suss Microtec |
| 모델명 | MA/BA6 GEN3 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-12-05 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 정밀 alignment가 요구되는 다양한 기판접합 시에 두 장의 기판 내 align key를 정렬시키는 장비로서 두 기판의 정밀한 alignment는 다양한 접합방법(Anodic, Eutectic, Silicon direct bonding, Adhesive bonding)에 따른 공정 margin을 확보하여 우수한 공정결과를 도출할 수 있음. 또한 기본적으로 장착된 exposure system을 통한 patterning 공정도 수행할 수 있음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201701/20170112174613825.png |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-01-235734 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712191592 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |