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장비
장비 및 시설 기본정보
열 증착 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 대기하이텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2017-01-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 금속 및 단분자 물질을 가열하여 기화시켜 상부의 기판에 분자 상태로 증착시키는 장비. 반도체 장비로 널리 쓰이며 본과에서는 주로 Au, DNTT 등 전극 물질과 유기 반도체 물질을 증착시켜 박막 트랜지스터, OLED, OPD 등 일반적인 박막 소자의 제작에 두루 사용. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201702/20170223111820355.png |
| 장비위치주소 | E2 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-02-236328 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712191580 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |