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장비
장비 및 시설 기본정보
패럴린 코팅 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 오방테크놀로지 |
| 모델명 | OBTPC200 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2017-06-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 1. 박막 및 encapsulation에 필요한 다 기능 다목적인 parylene을 증착할 수 있는 CVD 장비와 공정 진행 온도 그래프로 표시 제어 Pattern : 증착 코팅 공정에 따른 6Pattern 이상 저장 및 자동 운전 가능한 방식 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201707/20170718131629379.png |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 E2 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-07-238937 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712181248 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |