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장비

웨이퍼본더

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보유기관명	한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C512
표준분류명	계측
시설장비 설명	Wafer bonder장비는 공정수행에 필요한 온도, 압력, 히터프로그램의 세그먼트, 전압, 전류 등을 지정할 수 있으며 공정 진행 시 시스템에 사용하는 입력및 출력상황을 한눈에 감시 할 수 있는 기능을 가지고 있는 장비입니다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201302/20130219114910933.jpg
장비위치주소	한국과학기술연구원 청정연구동(L6)
NFEC 등록번호	NFEC-2013-02-175943
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST_Fab-00013
첨부파일