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장비
장비 및 시설 기본정보
습식 식각장치, 습식 세정장치, 감광막 제거장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Atis |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-06-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 - PR strip Wet station : PR(13) PR(24) ACETONE IPA QDR F/R - 대응 Size : piece ~ 8 inch wafer/Glass 1 casstte - Operation method : Touch Panel Control - SUS ULTRA SONIC Mega SONIC 비저항계 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201103/20110311162848.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 호남권 지역본부 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-08-063693 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00560 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |