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스퍼터링시스템

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보유기관명	울산과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C506
표준분류명
시설장비 설명	SPUTTER SYSTEM은 증착하고자 하는 물질(TARGET)을 SPUTTERING SOURCE 에 장착하여 R.F 또는 D.C POWER를 인가하면 Ar GAS 이온들이 기장착된 TARGET에 충돌하여 TARGET의 입자가 원하는 기판 (SAMPLE)에 증착될 수 있도록 하여 원하는 FILM(박막)을 얻기 위한 장치이다. 고체인 타겟재를 막의 원료로 하는 방법이므로 물리적 증착법의 일종이다. 스퍼터링법은 피막의 다양성면에서 다른 물리적 진공증착공정에 비교하여 뛰어나다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201210/20121016141124.jpg
장비위치주소	102동
NFEC 등록번호	NFEC-2013-02-175743
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0036602
첨부파일