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장비
장비 및 시설 기본정보
아르에프 마그네트론 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크㈜ |
| 모델명 | KVS-2002L |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-12-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 물리적 진공 증착법을 이용하여 모재인 파우더 표면위에 입자크기의 균일성이 우수한 금속 및 합금 나노입자를 증착시키기 위한 새로운 파우더의 형성 방법이다. 특히 종래 방법에서의 단점인 증착과 교반을 따로 하는 방식을 해결하기 위한 효율적인 교반수단을 제안하여 증착과 교반을 동시에 수행함으로써 매우 균일한 크기를 갖는 금속 및 합금 나노 입자가 증착되는 파우더의 제조 방법이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201302/20130204164941677.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L4) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-03-177186 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0036765 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |