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장비 및 시설 기본정보
전자빔 증착 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 삼한진공개발 |
| 모델명 | SHE-6T-350D |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-07-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 - 금속에 전자빔을 이용하여 박막형태로 증착시키기 위한 장치 - 금속에 전자빔 뿐만 아니라 고온을 가열하여 박막 형태로 증착시키기 위한 장치 - 증착 하려는 금속과 기판간의 거리를 조절 할 수 있어 타켓 거리에 따른 특성 분석 또한 가능 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131023155857899.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-08-003901 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054652 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |