실시간 전계 방사형 주사 전자 현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Jeol |
모델명 | JSM7200F |
장비사양 | |
취득일자 | 2017-08-09 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 실시간 전계 방사 주사형 전자현미경(In-situ FE-SEM)은 일반 광학 현미경으로는 관측이 어려운 물질의 미세영역을 고분해, 고배율(최대배율 10배에서 100만배까지)로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다. 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료 표면의 관찰영역을 주사하고 이 때 시료 표면에서 발생되는 여러 전자형태를 각종 검출기로 감지하여, 브라운관의 밝기로 변조시켜, 시료의 표면 형태 및 조성에 대한 각각의 영상을 얻어 출력할 수 있다. 전자빔을 방출 집속하는 전자 광학계, 시료실, 각종 검출기, 조작 테이블, 관찰 CRT 및 출력 장치 등 여러 부품으로 이루어져 있다. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201709/2017090615844389.jpg |
장비위치주소 | 동남지역본부 첨단하이브리드생산기술센터 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2017-09-239573 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201711160784 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |