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장비
장비 및 시설 기본정보
나노스크래치용 플랫폼
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Anton Paar |
| 모델명 | CPX-S-AE-0000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-09-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - Nano Scratch Test의 안정적인 시험을 위한 Platform - 모든 측정 장치와 비디오 광학 시스템이 통합되어 측정 장치의 교체 없이 정확한 위치 제어 시험 수행 가능 - X, Y 자동 이송 장치 (이송 거리: 120 mm x 70 mm , 분해능 : 0.25 ㎛) - Z 자동 이송 장치 ((이송 거리: 30 mm , 분해능 : 10 nm) - PC에서 직접 장비 구동 제어 - 에어 타입 제진대 포함 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201412/20141224183028320.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 연구1동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-12-195101 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00745 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |