| 시설장비 설명 |
○원리:3축 정밀스케일 구조의 초정밀 프로브센서 변위와 기계본체 3축 메인스케일 측정에 의해 복잡한 제품의 GD&T기하 공차측정, 정밀제어 바늘침 연속스캐닝 측정, 형상측정, 진원도 측정, 기어측정의 초정밀 복합형상측정이 가능한 장비 ○특징 1. 장비 구조는 초정밀 측정 및 장기간 정밀도 유지하고 진동의 영향으로부터 오차를 최소화할 수 있는 브릿지 고정형(Fixed portal design) 타입으로서 테이블 이송방식을 채택한 구조 2. 초정밀도를 구현하기 위하여 측정 정반은 고밀도의 화강암구조를 지닌 그라나이트 재질로 구성되어야 하며, 정반의 중앙에 볼스크류 방식의 드라이브를 장착하여 전, 후 방향으로 이송이 가능하며 또한, x축 스케일은 아베의 원리에 가장 충실하게 중앙에 설치되어 오차의 요소를 최소화한 구조이고 모든 스케일은 최대 0.005 ㎛ 이하의 분해능임 3. 미세한 온도변화에 의한 영향을 최소화하기 위해 각 축은 철, 알루미늄 재질이 아닌 화강암 또는 세라믹 재질의 열팽창 계수가 작은 소재를 사용했으며 주변 환경에 따른 측정물의 온도 변화를 정확 하게 보상 할 수 있도록 온도 보상 센서가 장착 됨 4. 컨트롤 시스템은 장비 및 프로브의 위치제어, 데이터 수집, 처리, 출력 및 에러 검출 등의 멀티태스킹 기능을 수행할 수 있어야 하며, Self-Centering, Scan-Catch, VHSS 기능을 지원할 수 있으며 서보컨트롤에 의한 측정기의 정확한 제어가 가능하고 또한, error발생으로 인한 조치시간을 최소화하기 위한 자가 진단기능을 갖추었으며, 장비 정밀도 유지를 위해 컴퓨터에 의한 3차원 정도 보정 기능을 갖추고 있음 5. 모든 축에는 고강성 에어베어링을 장착, 미세조정 및 유연제어가 가능한 구조이고, 외부의 진동을 흡수 할 수 있도록 액티브 에어 댐핑 시스템 설치됨 6. 바늘침 스캐닝과 그래픽 분석을 통하여 금형 코너 R과 모따기를 0.05 mm 까지 측정가능 7. CAM-calculate law for axial cam 측정, 스크루 콤프레서 측정, 켑토측정, 블레이드 분석 측정/기어 및 나사 측정등이 가능함 |
