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장비
장비 및 시설 기본정보
아르곤 이온 레이저
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Spectra Physics |
| 모델명 | BeanLok 2065-7S |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-08-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C516 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 아르곤 가스를 이용한 CW, TEM00 모드 편광 고출력 레이저이며, 출력 파장은 363.8nm 이며 최대 출력은 80mW 이상의 UV 레이저임. - 간섭 리소그라피의 광원으로 사용. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201509/2015091019518700.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-050411 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053908 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |