| 시설장비 설명 |
초전도층은 Re(1)1-xRe(2)xBa2Cu3O7 로 이루어진 산화물로서 Re(1) 및 Re(2)는 Y혹은 희토류원소로 초전도 특성이 가장 우수한 combination으로 선택되어 있다. 따라서 4가지의 금속물질을 co-evaporation하여 증착하는 것과 산소와 반응 시켜서 well-textured된 phase를 형성하는 것이 잘 이루어져야한다. 장치는 크게 2부분으로 이루어져있다. 즉 챔버장치와 제어장치이다. 챔버장치는 크게 3부분으로 이루어져있다. 즉 반응챔버, 증착챔버 및 differential 챔버이다. 반응챔버는 2부분으로 이루어져 있다. 즉 드럼과 챔버이다. 드럼은 긴 테이프 기판이 감겨있는 직경500 길이720의 SUS원통이다. 섭씨800도로 균일하게 가열된 상태에서 초당 약 1회전하며 증착챔버와 반응 챔버사이에 설치되어 회전함으로서 테이프위에 증착과 반응에 의한 Re(1)1-xRe(2)xBa2Cu3O7형성이 반복적으로 발생한다. 증착챔버는 직경 760 높이 680인 냉각장치된 SUS원통으로 base pressure가 수 마이크로 Torr진공이고 RE(1), Re(2), Ba, Cu, Ag를 각각 증착할 수 있다. RE(1), Re(2), Ba, Cu는 동시 증착되는 데, 이 때 성분비는 테이프 전체에서 일정하게 조절되어야한다. 반응챔버는 1500x950x720 크기의 냉각장치된 SUS챔버로서 내부에 설치된 드럼을 히터로 가열하게 된다. 산소가 튜브로 공급되어 테이프위에 증착된 RE(1), Re(2), Ba, Cu가 반응하여 Re(1)1-xRe(2)xBa2Cu3O7을 균일하게 형성한다. 증착챔버와 반응챔버사이에 있는 1600x240x760크기의 differential챔버는 드럼주위로 흐르는 산소가스가 증착챔버로 진입하는 것을 막는 장치이다. |
