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장비
장비 및 시설 기본정보
쏘우 모듈
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Assembly Technology |
| 모델명 | 1100-10 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1994-02-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 동작원리 : 웨이퍼를 프레임에 테이프로 고정하고, 장비에 장착함. 장착하는 부분은 자석으로 되어 있기 때문에 웨이퍼가 움직이지 않게 함. 그리고 웨이퍼를 자를 곳을 지정해 주면 블레이드가 회전하면서 웨이퍼를 자름. 웨이퍼를 자르는 동안에는 열이 발생하고 실리콘 가루가 나오기 때문에 자동으로 물을 뿌리면서 가공이 됨. 절단이 다 끝나면 물기를 제거하는 것으로 공정이 끝남. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201503/2015031217537259.jpeg |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-03-200120 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-ETRI-00012 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |