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장비 및 시설 기본정보
하이브리드 표면코팅장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 제이앤엘테크 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-03-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C209 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 - 기계부품의 저마찰 내구성 증대를 목표로 하는 DLC코팅장비 ion gun과 retangular magnetron을 장착한 hybrid 코팅장치 - 자동차 조선기자재 분야의 기계부품의 표면코팅 처리장치 - Ion gun Magnetron Sputter의 여러가지 플라즈마 소스를 챔버에 병렬적으로 설치 hybrid화로 인한 sputtering 겸용 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110902100241.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 첨단하이브리드생산기술센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-04-070365 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00524 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |