반도체 파라미터분석기
기관명 | ZEUS |
---|---|
장비번호 | |
제작사 | Keithley Instruments |
모델명 | 4200-SCS/F |
장비사양 | |
취득일자 | 2014-03-18 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국전기연구원 |
---|---|
보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C514 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 본 장비는 반도체 wafer상태 및 디바이스 상태에서의 전기적 물성 및 특성을 측정하는 고정밀급 반도체용 계측장비로서 반도체의 동작 전압측정, 동작 전류측정, 누설전류 측정, breakdown 전압측정, 전도도 및 저항측정, 디바이스 수명예측,gate 산화막 계면 결함 준위 측정, Hot Carrier Test 등 다양한 파라미터 측정이 가능함 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201405/2014051385353787.jpg |
장비위치주소 | 한국전기연구원 제6연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-05-187615 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053320 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |