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장비
장비 및 시설 기본정보
진공챔버프로브스테이션
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엠에스테크 |
| 모델명 | M6VC |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-02-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 반도체 소자의 I-V 특성 측정을 위해서는 probe station이 필요하다. 현재 과제에서 개발 진행중인 APD의 경우에는 I-V특성과 더불어 저온특성의 측정도 필요하므로 vacuum chamber type의 probe station으로 특성을 측정해야 할 필요가 있다. 또한, APD의 특성상, light input이 chamber 안에 들어가서 광 특성을 측정해야 할 필요가 있고, 개발중인 소자의 크기가 매우 작기 때문에 light input의 spot size와 leakage current의 정밀한 control이 필요하다. 이러한 목적에 맞추어 기존 vaccum chamber를 목적에 맞게 커스터마이즈한 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201405/20140515164215612.jpg |
| 장비위치주소 | 한국나노기술원 나노팹 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-05-188227 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054837 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |