- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
롤투롤 스퍼터 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엔티엠 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-11-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 플렉서블 기판(STS PolyImide)위에 CIGS 박막 태양전지의 후면전극으로 사용되는 Molybdenum을 증착하기 위해 제작된 것이다. 후면전극과 기판간의 접착력을 증가시키기 위한 Ar plasma 기능도 첨가되어 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201405/20140516135936297.jpg |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제4연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-05-188267 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIER-00027 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |