- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
기능성 고종횡비 패턴용 플라즈마 융합가공 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-08-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 현재 공동기반구축사업으로 진행하고 있는 “자원절약형 고종횡비 형상 공정 기술기반 구축 사업” 과제와 관련하여 아래의 목적 및 용도로 본 장비를 구축하고자 함 o 장비 도입 목적 - 고종횡비 미세 구조물 형성시 Top-down방식과 Bottom-up방식 두가지 방식 모두로 고종횡비 형상물 제작 - 기업체의 다양한 소재 요구에 맞추어 고종횡비 미세 구조물 형성을 위한 관련 산업계에 대한 화학적 가공 솔루션 개발 기반 제공 o 주요 내용 및 용도 - 식각을 통한 기능성 고종횡비 마이크로 홀 가공 - 박막증착을 통한 고종횡비 구조물 형성 - 기계적 가공방법과 광학적 가공방법 식각공정을 통해 만들어진 삼차원 구조물 표면에 기능성 박막을 코팅 함으로써 표면 특성 개질 - 고종횡비 형상의 성형용 스탬퍼 제작을 위한 형상마스터 가공 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201405/20140516145658552.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 연구6동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-05-188307 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0044274 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |