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6인치메뉴얼프로브스테이션

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	D101
표준분류명
시설장비 설명	소자의 전기적 특성을 확인할 때 쓰이는 측정 장치. 4개의 탐침으로 구성되어 있으며 각각의 탐침 의 끝 부분에는 금속으로 된 마이크로(um) 얇은 탐침이 있어서 전원을 인가해줌. 소프트웨어 프로그램과 연동되어 있어서 컴퓨터를 이용한 간편한 조작을 통해 외부에서 인가하는 전원의 방식(DC 혹은 AC)을 자유롭게 바꾸어 줄 수 있고 각각의 탐침을 자유롭게 설정하게 되어 있음. 외부에 로터리 펌프가 달려있어서 프로브 스테이션에 진공을 잡아주어 샘플 측정 시 선반에 기판을 단단히 고정해줄 뿐만 아니라 탐침이 외부 진동에 흔들리지 않고 안정적으로 측정가능 하도록 고정 시켜 주는 역할을 함. 기본적으로 전압을 인가하여 전류를 측정하는 용도로 많이 쓰임.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201110/20111024164322.jpg
장비위치주소	광주과학기술원 신재생에너지연구소
NFEC 등록번호	NFEC-2007-11-048360
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0007541
첨부파일