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장비
장비 및 시설 기본정보
스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크㈜ |
| 모델명 | KVT-T11096T1040 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-10-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. 특징 진공챔버내 Ar가스의 glow discharge를 이용하여 플라즈마를 발생시켜 Ar+ 이온 을 target 표면과 충돌하게하여 target 원자들을 기판에 증착시키는 물리적 박막 증착 장치 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110128155016.jpg |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-049205 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0007665 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |