장비 | 기업공감원스톱서비스

장비

이온 소스 알에프 스퍼터

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국생산기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C506
표준분류명
시설장비 설명	본 장비는 플라즈마 내의 이온을 추출하여 원하는 물질 방향으로 가속이 일어나도록 만드는 것 즉, 스퍼터링 현상을 이용하여 기판 위에 금속(Ag,Al,Ni), 반도체(Si) 유전체(Al2O3, SiO2.)등의 물질을 박막 형태로 증착할 수 있는 설비로서, on-axis 다이오드 스퍼터링 공정과 이온빔 스퍼터링 공정이 가능한 장비로 이온빔의 가속 에너지 영역이 기판 표면을 개질하거나 물체의 표면 원자를 스퍼터링하는 일을 수행할 수 있으며,이온빔 소스는 장시간 공정에 안정적으로 구동가능하며 156 mm x 156 mm 기판 3 장을 동시에 장착할 수 있어야 하고, 필요에 따라 이온빔 소스를 적용한 in-situ 기판 표면의 청정 및 표면 개질을 할수 있는 특징이 있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201412/20141222164242213.jpg
장비위치주소	한국교통대학교 공동실험관
NFEC 등록번호	NFEC-2015-01-195355
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00185
첨부파일