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장비
장비 및 시설 기본정보
나노입도 분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cilas |
| 모델명 | NANO DS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-07-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B702 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 다중와이어 절단용 슬러리의 입도 분석 및 절단 공정 후 debris의 입도변화 관찰용 장비로서, 와이어 절단을 통해 웨이퍼 제조시 와이어의 마모 또는 전기적 충격으로 다량의 debris가 슬러리 내로 유입되며, 이 deris의 입도는 웨이퍼의 품질에 영향을 미치는 중요한 변수임 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201508/20150827151922963.jpg |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제2연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-08-204590 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0058285 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |