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장비
장비 및 시설 기본정보
고출력 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아이티에스(I.T.S) |
| 모델명 | 개발장비 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-12-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 해당 장비는 high power sputtering system으로써, 증착을 원하는 물질을 high dep rate으로 sputtering 가능 하며, multi-target sputter로써 Co-sputtering, multi-layer sputtering 등의 공정이 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201603/20160311172153508.png |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 미래융합소자동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-03-208279 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059977 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |