- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
질화알루미늄 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Oem |
| 모델명 | AMS2004 SMT |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-01-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ○ 실리콘 웨이퍼 위에 고품질의 질화 알루미늄(AlN) 박막을 증착 하는 것이 목적임. - MEMS용 압전소자 제작 - 집적 회로(IC, integrated circuit) 금속구조물 AlN 박막 보호 - 반도체 공정의 부품 SAW(Surface Acoustic Wave) 소자 제작 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201502/20150223192828544.jpg |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-02-198225 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0049760 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |