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장비
장비 및 시설 기본정보
450mm 실리콘 열처리로
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 예스티 |
| 모델명 | YIH-2700 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-12-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C601 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 1. "450mm 실리콘 웨이퍼 표준화 연구“를 위한 기초물성 측정용 Vertical Furnace 2. 450mm 실리콘 웨이퍼 열처리로 3. 450mm 실리콘 웨이퍼 900℃ 열처리 4. 450mm 실리콘 웨이퍼 저온 산화막 제조 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201110/20111018134847.jpg |
| 장비위치주소 | (주)YEST 연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-12-078752 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0017498 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |