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초고진공레이저빔 증착시스템

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보유기관명	전남대학교 산학협력단
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드
표준분류명
시설장비 설명	* 원리및 특징 화합물 반도체 에피박막을 성장시키는 장비이며 특히 성장과정의 모니터링이 가능하여 박막성장 기구의 유추가 가능한 장비 * 주요구성 및 성능 - Process chamber for UHV / 1 ea - Load-lock chamber / 1 ea - Pumping system for UHV / 1 set - Vacuum measurement unit / 2 set - Sample manipulator sample holder / 1 set - RHEED package with software / 1 set - Ozone generator and delivery unit / 1 set - Target carrousel and holder / 1 set - Bakeout unit / 1 set - PC / 1 set - System frame and control rack / 1 set* 사용예 LED/LD 소자관련 인력의 교육 및 관련 산업체의 박막제조기술 재교육에 활용
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125144317.jpg
장비위치주소	광주 북구 용봉동 전남대학교 77 전남대학교 용봉캠퍼스 산학협력공학관 2층 205
NFEC 등록번호	NFEC-2008-01-054672
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008290
첨부파일