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장비
장비 및 시설 기본정보
배치형 증착 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 참트론 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-05-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 기능 - Organic Device 제작을 위한 유기 박막 증착 시스템이다. 초고순도의 유기 박막을 형성하기 위하여 고진공 환경에서 증착이 되어야 하며 정밀한 두께 조절 및 두께 균일도를 형성할 수 있는 시스템이다. 또한 고진공에서의 연속적인 다층의 유기 박막 형성과 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201306/2013060513434850.bmp |
| 장비위치주소 | 한국화학연구원 5연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-06-179693 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0039398 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |