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장비
장비 및 시설 기본정보
분광엘립소미터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 나노뷰 |
| 모델명 | SE MG-1000UV |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-07-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A408 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 박막의 굴절륭 및 두께 등을 넓은 영역에서 정확하게 측정 가능한 장비 복합층의 경우 모델링에 의해 각각 층에 대한 두께 측정이 가능하며, 금속 박막의 경우 약 10 nm 정도까지 두께 측정 가능 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201502/20150210101835193.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-02-196942 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0049382 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |