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장비
장비 및 시설 기본정보
스핀코터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Suss Microtec |
| 모델명 | SUSS Microtec D80 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2004-04-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 회전에 의한 원심력을 이용하여 고분자 또는 유기 박막을 제조함. 본 장비는 10x10 mm 사이즈의 기판에서부터 5“ wafer 까지의 기판을 사용할 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images// |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 2동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-05-022754 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0052066 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |