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장비
장비 및 시설 기본정보
공초점 레이저 주사 현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Carl Zeiss |
| 모델명 | LSM 5 PASCAL |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2004-02-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 레이저 공초점 현미경으로 해상도 200nm 급 측정 가능 - Galvare 스캐너 장착으로 고체시편 및 비디오 시편 측정, 레이저 스캐닝 방식 구성및성능 HeNe, 할로겐 램프 , Ar+ 레이저를 이용한 파장 변화 - 실리콘 웨이퍼 및 바이오 샘플의 측정가능 - x20, x50, x100, 및 Oil immersion렌즈 사용 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201309/2013090515735100.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 연구6동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-04-052811 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0050470 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |