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장비
장비 및 시설 기본정보
Zn 스퍼터 및 sample transfer 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 제이몬 |
| 모델명 | CIGS-R-B |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-11-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | CIGS 태양전지 제작에 있어서 버퍼층 제작을 위한 장비이다. 본 과제에서는 건식 방법을 이용한 ZnS 박막을 버퍼층으로 사용하고자 한다. 본 장비는 ZnS 박막 제조를 위해 Zn 전구체 박막을 형성하고 시료를 로딩 및 언로딩 할 수 있는 기능을 가진다. Zn 박막은 Zn 타겟을 Ar 분위기에서 스퍼터링하여 제작된다. Transfer arm은 벨트타입이며 시료 위치의 미세조정이 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201211/20121112145746.jpg |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 2동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-03-176624 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0050699 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |