중성자 변환 도핑 수력회전장치 및 시험설비
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 대신엔지니어링 |
모델명 | 모델명 없음 |
장비사양 | |
취득일자 | 2014-03-24 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국원자력연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C521 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 설계 개발중인 기장연구로의 중요한 응용분야중의 하나가 실리콘 잉곳의 중성자 핵변환 도핑을 통한 고순도 반도체 생산이다. 원자로 내부에서 실리콘 잉곳의 조사 과정 중 균일한 조사를 위해 실리콘 잉곳의 회전이 요구된다. 본 설비는 수력학적인 메커니즘에 의한 실리콘 잉곳 회전장치 및 관련 시험설비이다. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201404/20140403155434242.jpg |
장비위치주소 | 대신엔지니어링 대신엔지니어링 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-04-186659 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0056787 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |