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장비
장비 및 시설 기본정보
아크 플라즈마 증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | ULVAC-RIKO |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-03-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | * 본 장치는 진공 및 가스 분위기 하에서 나노 입자를 생성하는 것을 목적으로 한 장치로써 동축형 진공 아크 증착원에 질소 가스 및 산소 가스를 투입하여 원하는 재료를 즉시 플라즈마로 하여 가스와 반응 및 급냉 응집시켜 나노 입자를 생성 할 수 있음. 생성된 나노 입자는 아크 플라즈마 증착원 아래에 장착된 교반 용기를 통해 분말에 코팅을 형성하여 합성을 할수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201306/20130618102910941.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 송도TP D동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-06-180006 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00337 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |