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장비
장비 및 시설 기본정보
미세패턴 정렬 형성기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스시스템 |
| 모델명 | MDA-400S |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-08-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 정렬 키를 이용한 정밀한 Alignment와 UV 광원을 활용하여 Photoresist가 도포된 웨이퍼상에 미세 패턴의 형상을 제작하는 등 다양한 공정에 응용이 가능한 범용 Mask contact aligner 이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201411/20141118161041267.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-11-193561 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0046299 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |