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장비 및 시설 기본정보
금속나노분말 제조 및 코팅장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아이시스 |
| 모델명 | I60 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-12-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 증착원자를 이온화시키고 전기장 속에서 가속하여 고에너지 상태를 만들고 이를 진공중에 놓여진 기판에 흡착시켜 박막을 형성하는 방법이다. 큰에너지를 가진 상태에서 충돌하면서 박막을 형성하기 때문에 치밀하고 물성이 우수한 박막을 형성하게 된다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201501/201501051734454.jpg |
| 장비위치주소 | 한국원자력연구원 방사선응용연구동 516호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-01-195472 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0047934 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |